[发明专利]悬臂石英桨的制作方法及产品

摘要

本发明公开了一种悬臂石英桨的制作方法，将溶凝石英管进行二次成型，堆厚处理，并进行两种退火处理，制成悬臂部分(1)；将溶凝石英管和溶凝石英板悬进行切割、烧结，烧结完成后进行打磨、抛光，最后采用两种退火处理，制成承载部分(2)；将悬臂部分(1)与承载部分(2)进行连接，并进行常规的退火处理。本发明增加了悬臂石英桨的悬臂部分的厚度，退火采用两种退火方式，消除了常规退火无法解决的应力问题，保证芯片与炉管的同心度，使其能承载较多的石英舟，悬臂石英桨不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命，因为采用熔凝石英，悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使断裂也可以进行修补，节约了成本。

主权项

1.悬臂石英桨的制作方法，其特征在于：将溶凝石英管进行二次成型，堆厚处理，并进行两种退火处理，制成悬臂部分(1)；将溶凝石英管和溶凝石英板悬进行切割、烧结，烧结后采用两种退火处理，退火后进行打磨、抛光，制成承载部分(2)；将悬臂部分(1)与承载部分(2)进行连接，并进行常规的退火处理。