[发明专利]悬臂石英桨的制作方法及产品

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产元件的制作方法及产品，尤其是一种悬臂石英桨的制作方法及产品。

背景技术

从硅片到芯片的加工过程中，片子进出炉管的传统方式是推拉式，但是随着芯片直径加大，自重增加，推拉式因为与炉管直接接触，容易对炉管造成损伤，因此这个加工过程就由传统的推拉式变为悬臂式的硅桨，悬臂式硅桨可以保证芯片与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀，并且保证了芯片的承载器不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命，但是硅桨不易清洗、质地较脆、易断裂，并且断裂后不能修补，其所能承载的石英舟少，使用成本高。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种悬臂石英桨的制作方法及产品，它可以保证芯片与炉管的同心度，不与炉管直接接触，并且容易清洗、不易断裂，即使断裂也可以进行修补，承载量大，节约了成本。

本发明的技术方案是：悬臂石英桨的制作方法，将溶凝石英管进行二次成型，堆厚处理，并进行两种退火处理，制成悬臂部分1；将溶凝石英管和溶凝石英板悬进行切割、烧结，烧结后采用两种退火处理，退火后进行打磨、抛光，制成承载部分2；将悬臂部分1与承载部分2进行连接，并进行常规的退火处理。

所述的悬臂石英桨的制作方法，所述的进行堆厚处理，是将溶凝石英管二次成型后的厚度增加到10～12mm。

上述的悬臂石英桨的制作方法，所述两种退火处理，是先进行火焰退火处理，再进行电阻炉退火处理。

前述的悬臂石英桨的制作方法，烧结次数为三次，每次都相应的进行两种退火处理。

前述的悬臂石英桨的制作方法，悬臂部分1与承载部分2采用石英棒进行焊接。

悬臂石英桨，它包括悬臂部分1与承载部分2，悬臂部分1与承载部分2通过结合部分4连接，悬臂部分1厚度为10～12mm，承载部分2厚度为4.5～5.5mm，结合部分4的中点位置处为支点3。

与现有技术相比，本发明增加了悬臂石英桨的悬臂部分的厚度，退火采用两种退火方式，消除了常规退火无法解决的应力问题，保证芯片与炉管的同心度，使其能承载较多的石英舟，悬臂石英桨不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命，因为采用熔凝石英，悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使断裂也可以进行修补，节约了成本。

说明书附图

图1为悬臂石英桨的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1的左视图。

具体实施方式

实施例1：悬臂石英桨的制作方法，选定的材料为符合美国GE标准的熔凝石英，将溶凝石英管进行二次成型，堆厚处理，将溶凝石英管的厚度由常规的厚度增加到10～12mm，并进行两种退火处理，制成悬臂部分1；将溶凝石英管和溶凝石英板悬进行切割、烧结，烧结次数为三次，烧结后采用两种退火处理，退火后进行打磨、抛光，制成承载部分2；悬臂部分1与承载部分2采用石英棒进行焊接，并用常规的退火方式进行处理；整个过程中采用的两种退火处理，均是先进行火焰退火处理，再进行电阻炉退火处理。

悬臂石英桨的结构如图1、图2和图3所示，它包括悬臂部分1与承载部分2，悬臂部分1与承载部分2通过结合部分4连接，悬臂部分1厚度为10～12mm，承载部分2厚度为4.5～5.5mm，结合部分4的中点位置处为支点3。

本发明将悬臂石英桨的悬臂部分1增加厚度，由常规的厚度增加到10～12m；采用两步退火是为了消除悬臂部分1与承载部分2的应力，同时也避免了气泡与虚焊，保证芯片与炉管的同心度，使其能承载较多的石英舟，悬臂石英桨不与炉管直接接触，避免了因反复进出而对炉管造成磨损，延长了炉管的使用寿命，由于了采用熔凝石英，悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使断裂也可以进行修补，节约了成本；支点3在结合部分4的中点位置处，因为石英桨的桨部(即承载部分2)要承载石英舟，因此选择一个合适的支点3可以很好的保持整个桨的平衡，使其受力平衡均匀；熔凝石英的分子为非结晶排布，这样可以在其断裂时能进行修补，以增加悬臂石英桨的使用寿命。