[发明专利]狭缝喷嘴有效
申请号: | 200710195326.4 | 申请日: | 2007-12-10 |
公开(公告)号: | CN101199961A | 公开(公告)日: | 2008-06-18 |
发明(设计)人: | 高瀬真治;山口和伸;熊泽博嗣 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | B05C11/00 | 分类号: | B05C11/00;B05C11/02;B05C11/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;李伟 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种可以降低排出气泡作业中的空闲时间、并可消除由气泡引起的涂膜的膜厚不均匀的狭缝喷嘴。根据本发明,被带入到涂敷液中的气泡(空气)在从第1存留部(4)向第2存留部(5)流入的过程中,从涂敷液中脱离出来并集结于第1存留部(4)内的棚顶部分,由于第1存留部(4)形成为两个连山状,因此空气沿着棚顶到达顶部,并从开设于顶部的气泡排出口(7)排出。 | ||
搜索关键词: | 狭缝 喷嘴 | ||
【主权项】:
1.一种狭缝喷嘴,具有:供给涂敷液的涂敷液供给口、用于使涂敷液流到基板上的宽幅的狭缝状吐出口、连接上述涂敷液供给口与狭缝状吐出口的涂敷液流路,其特征在于,上述涂敷液流路的棚顶面形成为多个呈倾斜的连山状,在连山状涂敷液流路的顶部设置有排出涂敷液流路内的气泡的排出口。
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