[发明专利]一种基于光流体的微光学芯片及其制作方法

摘要

本发明提出了一种基于光流体的微光学芯片及其制作方法，属于微机械电子系统(MEMS)中一种新型的微流体光学器件。发明提出的芯片包括微管道基体1、上盖片、第一微管道5、与第一微管道5形成交叉连接的第二微管道8、微液滴9；两个微管道内部都充满流体介质且互不相容；微液滴9和第一微管道5内部的流体介质也互不相容，并且具有不同的折射率。本发明提出的微光学芯片及其制作方法提供集成的微光学芯片，将非球面光学零件、反射镜、滤光片等光学零件集成在一个芯片上，光学零件配置灵活，满足对光学零件小型化与阵列化的要求；在MEMS制作工艺基础上，工艺简单，适合于批量制作；体积小，整个芯片可以达到毫米数量级的外形尺寸。

主权项

1.一种基于光流体的微光学芯片，包括：微管道基体(1)，位于微管道基体(1)上第一微管道(5)，位于第一微管道(5)内的微液滴(9)，上盖片(2)；第一微管道(5)的两端用密封片(11)密封，内部充满流体介质；微液滴(9)和第一微管道(5)内部的流体介质具有不同的折射率且互不相容。