[发明专利]一种基于光流体的微光学芯片及其制作方法

权利要求书

1.一种基于光流体的微光学芯片，包括：微管道基体(1)，位于微管道基体(1)上第一微管道(5)，位于第一微管道(5)内的微液滴(9)，上盖片(2)；第一微管道(5)的两端用密封片(11)密封，内部充满流体介质；微液滴(9)和第一微管道(5)内部的流体介质具有不同的折射率且互不相容。

2.一种如权利要求1所述的基于光流体的微光学芯片，其特征在于：还有一个第二微管道(8)与所述的第一微管道(5)交叉连接，第二微管道(8)的两端密封，内部充满流体介质，第一微管道(5)内部的流体介质和第二微管道(8)内部的流体介质互不相容。

3.一种如权利要求2所述的基于光流体的微光学芯片，其特征在于：所述的第二微管道(8)与所述的第一微管道(5)之间的交叉连接为十字型或双T型。

4.一种如权利要求1或2所述的基于光流体的微光学芯片，其特征在于：所述的第一微管道(5)的两端可以形成任意角度的折线形式，并保证微液滴(9)不处于折线部分。

5.一种如权利要求1或2所述的基于光流体的微光学芯片，其特征在于：所述的第一微管道(5)折线段的管壁的一面可以制作转角凹台，转角凹台的中心线与第一微管道(5)中心轴线在管壁的另一面上相交。

6.一种如权利要求2所述的基于光流体的微光学芯片，其特征在于：所述的第一微管道(5)和第二微管道(8)横截面可以为圆形或矩形。

7.一种如权利要求2所述的基于光流体的微光学芯片，其特征在于：所述的第一微管道(5)的两端可以有储液池I(6)和储液池II(10)，所述的第二微管道(8)两端可以有储液池III(4)和储液池IV(7)，在所述的上盖片2上有用以密封储液池III(4)、储液池I(6)、储液池IV(7)、储液池II(10)开口的密封薄膜(3)。

8.一种如权利要求1所述的基于光流体的微光学芯片的制作方法，包括以下步骤：

步骤一：在基体材料上制作微管道；

步骤二：微管道表面浸润性改性处理；

步骤三：在上盖片或者微管道基体上相应位置，钻削直径为0.5～2mm的孔作为储液池；

步骤四：键合微管道基体和上盖片；

步骤五：注入微液滴：采用微流体驱动技术，将流体介质和微液滴流体介质分别驱动到第一微管道中相应的位置；

9.一种如权利要求9所述的基于光流体的微光学芯片的制作方法，其特征在于，所述的步骤五之后还可以根据需要增加一个步骤：将芯片放入恒温箱中，使微液滴固化。

10.一种如权利要求9所述的基于光流体的微光学芯片的制作方法，其特征在于，所述的步骤五之后还可以根据需要增加一个步骤：切割芯片，并密封微管道两端。