[发明专利]具有微结构的模芯及其制造方法有效
| 申请号： | 200710175990.2 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101149560A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘敬伟;王刚 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有微结构的模芯，包括模版和设置在模版一面的微结构，模芯具有各向异性刻蚀率，微结构包括至少一个凸起或者至少一个凸条，凸起或凸条的侧面与模版底面之间的夹角相同。本发明还涉及一种具有微结构的模芯的制造方法，包括：在具有各向异性刻蚀率的模版上涂布光刻胶；在掩模板的遮掩下曝光模版上的光刻胶；去除模版上被曝光的光刻胶；刻蚀模版表面未被光刻胶覆盖的区域，形成具有至少一个凸起或者至少一个凸条的微结构；去掉模版表面上残留的光刻胶，形成具有微结构的模芯。本发明有效降低了制造具有微结构的模芯的成本，同时简化了模芯的制造方法。本发明有效降低了制造具有微结构的模芯的成本，同时简化了模芯的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有微结构的模芯，其特征在于包括模版和设置在所述模版一面的微结构，所述模芯具有各向异性刻蚀率，所述微结构包括至少一个凸起或者至少一个凸条，所述凸起或凸条的侧面与模版底面之间的夹角相同。
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