[发明专利]一种抓取晶圆的伸缩臂及其定位方法有效
| 申请号： | 200710171571.1 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101451266A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 谢诚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种抓取晶圆的伸缩臂，包括伸缩臂本体、位于伸缩臂本体两端的滑坡、以及位于伸缩臂本体对称轴上的第一小孔、第二小孔、第三小孔，其中伸缩臂本体上的第二小孔的圆心体上第一小孔方向平移1mm，第二小孔的圆心与晶圆的圆心重合。该抓取晶圆的伸缩臂，能有效的传送晶圆，并不会损坏晶圆和伸缩臂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抓取 伸缩 及其 定位 方法 | ||
【主权项】：
1、一种抓取晶圆的伸缩臂，包括伸缩臂本体、位于伸缩臂本体两端的滑坡、以及位于伸缩臂本体对称轴上的第一小孔、第二小孔、第三小孔，其特征在于，所述伸缩臂本体上第二小孔的圆心向第一小孔方向平移1mm，第二小孔的圆心与晶圆的圆心重合。
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