[发明专利]一种抓取晶圆的伸缩臂及其定位方法

权利要求书

1.一种抓取晶圆的伸缩臂，包括伸缩臂本体、位于伸缩臂本体两端的滑坡、以及位于伸缩臂本体对称轴上的第一小孔、第二小孔、第三小孔，所述伸缩臂本体两端的滑坡用于卡住晶圆，该伸缩臂本体两端的滑坡之间的距离等于晶圆的直径，所述第一小孔和第三小孔分别在所述第二小孔的两侧，其特征在于，所述伸缩臂本体上第二小孔的圆心向第一小孔方向平移1mm，第二小孔的圆心与晶圆的圆心重合。

2.如权利要求1所述的一种抓取晶圆的伸缩臂，其特征在于，所述的伸缩臂本体的材料是钼合金。

3.利用权利要求1所述的一种抓取晶圆的伸缩臂来进行定位的方法，其特征在于，

(1)、先将圆心是空心的晶圆送入定位炉内；

(2)、抓取晶圆的伸缩臂伸入定位炉内，然后用探测棒从伸缩臂的第二小孔往下探测，如果探测棒不能顺利通过晶圆的圆心以及定位炉的中心的话，则再移动伸缩臂的位置，直到探测棒能顺利通过晶圆的圆心和定位炉的中心；

(3)、当探测棒能顺利通过伸缩臂本体上的第二小孔的圆心、晶圆的圆心以及定位炉的中心的话，记录下此时伸缩臂的参数，并将该参数设定在机台上来控制晶圆钨化过程中伸缩臂抓取晶圆。