[发明专利]减压干燥装置

摘要

本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并最小限度抑制附着在基板的涂敷膜上的基板接触部的转印痕迹。该减压干燥单元(VD)(46)通过在搬入侧滚动搬送通路(104a)和内部滚动搬送通路(104b)上进行的滚动搬送，以滚动搬送方式将应接受减压干燥处理的基板G搬入到腔室(106)内，通过内部滚动搬送通路(104b)和搬出侧滚动搬送通路(104c)上进行的滚动搬送，将腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G搬出腔室(106)外。在减压干燥处理中，多个升降销(128)使基板G保持水平姿势将其从滚动搬送通路(104b)向上方提起，以极细销尖部支撑基板G。

主权项

1.一种减压干燥装置，用于在减压状态下对被处理基板上的涂敷液进行干燥处理，其特征在于，包括：腔室，其具有用于将所述基板以大致水平状态收容的空间，并能够减压；第一排气机构，其为了进行所述干燥处理，在密封状态下对该腔室内进行真空排气；搬送机构，其具有连接所述腔室的外部和内部的滚动搬送通路，并且通过在所述滚动搬送通路上进行滚动搬送将所述基板搬入搬出所述腔室；和升降机构，其具有多个用于通过销的顶端大致水平地支撑所述基板并对其进行升降而离散配置在所述腔室中的升降销，在进行所述干燥处理时，使所述升降销的顶端高于所述滚动搬送通路并支撑所述基板，在进行所述基板的搬入搬出时，使所述升降销的顶端低于所述滚动搬送通路，由此使得所述搬送机构能够对所述基板进行滚动搬送。