[发明专利]图像传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200710166510.6 | 申请日： | 2007-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101206395A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 金尚源 | 申请（专利权）人： | 东部高科股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/00;H01L27/14;H01L27/148 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李德山;杨生平 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器可以包括在像素阵列衬底上形成的不同形状的微透镜。使用根据微透镜相对于主透镜的角度来定位每个微透镜图案的挡光区的相移掩膜，来形成不同形状的微透镜。该相移掩膜在像素阵列衬底的、用于接收与入射到主透镜的光同轴入射的入射光的一个区域产生穹顶形状的微透镜，以及产生非对称形状的微透镜，该非对称形状的微透镜在最远离穹顶形状的微透镜的部分具有更厚的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 图像传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图像传感器的制造方法，包括：在像素阵列衬底上涂敷用于微透镜的光刻胶；通过使用曝光掩膜对光刻胶进行曝光和显影，来形成具有台阶差的透镜图案阵列；以及对透镜图案阵列进行回流，以形成不同形状的微透镜。
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