[发明专利]离子植入机的剂量准确性监测系统有效
| 申请号： | 200710165979.8 | 申请日： | 2007-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101315860A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈俊霖;叶永富;李玉堂;郑迺汉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317;H01L21/66;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种离子植入机的剂量准确性监测系统，其中一种装置，用以监测一离子植入机的离子束电流。此装置包括有离子束感测单元，用以感测至少一离子束电流值；位置量测单元，用以测得扫掠位置；以及电脑单元。电脑单元是用以接收由该离子束感测单元所感测的离子束电流值和由位置量测单元所测得的扫掠位置，并决定离子植入机的离子束电流的一偏差状态(Drift Status)，其中电脑单元周期性地在离子植入机的扫掠过程的初始时间和结束时间之间，来接收离子束电流值和扫掠位置。本发明可有效地监测离子植入机的离子束电流的偏差，因而可提升离子植入过程的剂量(或离子束电流)准确性，并可避免晶片的不当耗费。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 剂量 准确性 监测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种装置，用以监测一离子植入机的离子束电流，其特征在于其中该装置至少包含：一离子束感测单元，用以感测至少一离子束电流值；一位置量测单元，用以测得至少一扫掠位置；以及一电脑单元，用以接收由该离子束感测单元所感测的离子束电流值和由该位置量测单元所测得的扫掠位置，并决定该离子植入机的离子束电流的一偏差状态，其中该电脑单元是周期性地在该离子植入机的一扫掠过程的一初始时间和一结束时间之间，来接收离子束电流值和扫掠位置。
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