[发明专利]离子植入机的剂量准确性监测系统

权利要求书

1.一种装置，用以监测一离子植入机的离子束电流，其特征在于其中该装置至少包含：

一离子束感测单元，用以感测至少一离子束电流值；

一位置量测单元，用以测得至少一扫掠位置；以及

一电脑单元，用以接收由该离子束感测单元所感测的离子束电流值和由该位置量测单元所测得的扫掠位置，并决定该离子植入机的离子束电流的多个偏差状态，其中该电脑单元是周期性地在该离子植入机的一扫掠过程的一初始时间和一结束时间之间，来接收离子束电流值和扫掠位置，以计算出多个通道系数，并根据一预设可允许通道系数范围和该些通道系数来决定该离子植入机的该些偏差状态。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于其更至少包含：

一即时监测器，用以储存已进行过的离子束电流的过去离子束电流范围和由过去离子植入过程中发现的已进行过的扫掠位置，其中在决定该离子植入机的离子束电流的该些偏差状态时，该电脑单元更用以比较离子束电流值和过去离子束电流范围。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于其中该电脑单元更用以分析扫掠位置和过去离子束电流范围之间的一相对关系，以及用以比较在一扫掠位置上的一离子束电流和其对应的过去离子束电流范围。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于其中由该离子束感测单元和该位置量测单元所输出的信号为模拟信号，以及其中该装置更至少包含：

至少一模拟转数字转换器，用以转换模拟信号成数字信号，其中该模拟转数字转换器偶接于该电脑单元。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于其更至少包含：

一缓冲伺服器，设置于该模拟转数字转换器和该电脑单元之间，其中该缓冲伺服器是用以储存数字信号，并传送数字信号至该电脑单元。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于其中当测得离子植入机的该通道系数超过该预设可允许通道系数范围时，该电脑单元更用以传送一信号来中止该离子植入机的动作。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于其中该电脑单元是经由一缓冲伺服器来连接一模拟转数字转换器，以及其中该模拟转数字转换器更连接于该离子植入机的一控制中心。

8.一种离子植入机，用以植入离子于多个晶片中，其特征在于其中该离子植入机至少包含：

一可移动旋转轮，设有多个晶片；

一离子束感测单元，用以在一扫掠过程中的一初始时间上感测一第一离子束电流值，以及用以在该扫掠过程中的该初始时间和一结束时间之间的一即时时间点上感测一第二离子束电流值；以及

一电脑单元，用以接收由该离子束感测单元所感测的该第一离子束电流值和该第二离子束电流值，借由该第一离子束电流值和该第二离子束电流值来计算一通道系数，以及借由比较该通道系数和一预设通道系数范围来决定该离子植入机的一偏差状态。

9.根据权利要求8所述的离子植入机，其特征在于其更至少包含：

一位置量测单元，用以测得该可移动旋转轮在该即时时间点上的一扫掠位置，其中该电脑单元更用以接收该扫掠位置。

10.根据权利要求9所述的离子植入机，其特征在于其中该位置量测单元是用以在该扫掠过程中的该初始时间和该结束时间之间周期性地测得该可移动旋转轮的多个扫掠位置，以及其中该离子束感测单元是用以感测多个离子束电流值，而每一该些离子束电流值是对应于每一该些扫掠位置。

11.根据权利要求10所述的离子植入机，其特征在于其中该电脑单元是用以在每一该些扫掠位置上进行多个步骤，该些步骤至少包含：

对应于每一该些扫掠位置来测得一离子束电流值；

借由该离子束电流值来计算一即时通道系数；

对应于每一该些扫掠位置来取得一预设可允许通道系数范围；以及

借由比较该即时通道系数和预设可允许通道系数范围来决定该离子植入机的该偏差状态。

12.根据权利要求11所述的离子植入机，其特征在于其中该通道系数是对比于该第一离子束电流值和离子束电流值之间的比例。