[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种图像传感器及其制造方法，该图像传感器包括具有晶体管电路和多个下部互连件的衬底。多个第一互连件在衬底上彼此隔开的形成，并通过所述多个下部互连件电连接到CMOS电路。在所述多个第一互连件之间形成多个平坦化的绝缘层以隔开各个单元像素。在包括所述多个绝缘层的衬底上形成本征层，以及在所述本征层上形成第二导电层。所述多个第一互连件、所述本征层和所述第二导电层提供了用于所述图像传感器的光电二极管。根据本发明的图像传感器及其制造方法，能够提高分辨率和灵敏度。

主权项

1、一种图像传感器，包括：衬底，具有形成在其中的晶体管电路；多个第一互连件，在所述衬底上彼此隔开，并通过多个下部互连件电连接到所述晶体管电路；多个绝缘层，在所述多个第一互连件之间被平坦化；本征层，形成在包括所述多个绝缘层的所述衬底上；以及第二导电层，形成在所述本征层上。