[发明专利]光致抗蚀剂组合物、其涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法

摘要

本发明提供涂布时不形成条斑等的LCD－TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂组合物的涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法。排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物含有：(A)碱可溶性树脂、(B)感光剂、以及(C)由含以通式(1)：CH₂＝CR¹COOCH₂CH₂C₈F₁₇(式中，R¹是氢原子或者甲基)表示的氟代烷基单体(m1)和含以通式(2)：CH₂＝CR²COO(C₃H₆O)nH(式中，R²是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7)表示的聚氧丙烯单体(m2)构成的单体混合物(m)进行聚合而得到的共聚物(P)，上述单体混合物(m)中的上述单体(m1)和(m2)的混合比(m1)/(m2)是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物(P)的重均分子量是3000～10000的氟系表面活性剂。

主权项

1.LCD-TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物，其特征在于，含有(A)碱可溶性树脂，(B)感光剂，以及(C)氟系表面活性剂，该氟系表面活性剂是由包含通式(1)表示的氟代烷基单体m1和通式(2)表示的聚氧丙烯单体m2的单体混合物m进行聚合而得到的共聚物P，并且上述单体混合物m中的上述单体m1和m2的混合比m1/m2是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物P的重均分子量是3000～10000；CH2＝CR1COOCH2CH2C8F17 (1)式中，R1是氢原子或者甲基，CH2＝CR2COO(C3H6O)nH (2)式中，R2是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7。