[发明专利]光致抗蚀剂组合物、其涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法

权利要求书

1.LCD-TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物，其特征在于，含有

(A)碱可溶性树脂，

(B)感光剂，以及

(C)氟系表面活性剂，该氟系表面活性剂是由包含通式(1)表示的氟代烷基单体m1和通式(2)表示的聚氧丙烯单体m2的单体混合物m进行聚合而得到的共聚物P，并且上述单体混合物m中的上述单体m1和m2的混合比m1/m2是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物P的重均分子量是3000～10000；

CH₂＝CR¹COOCH₂CH₂C₈F₁₇    (1)

式中，R¹是氢原子或者甲基，

CH₂＝CR²COO(C₃H₆O)nH    (2)

式中，R²是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7。

2.根据权利要求1所述的LCD-TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物，其中，所述碱可溶性树脂(A)是酚醛清漆树脂，而且所述感光剂(B)是含有醌二叠氮基的化合物。

3.光致抗蚀剂组合物的涂布方法，其特征在于，使用排出喷嘴式涂布法在基板上涂布权利要求1或2所述的排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物。

4.抗蚀剂图形的形成方法，其特征在于，使用权利要求3所述的方法在基板上形成光致抗蚀膜，曝光后进行显影。