[发明专利]光波导、半导体光学集成元件及其制造方法

摘要

本发明的目的在于，在同一衬底上设置脊型波导和高台面型波导的半导体光学集成元件中波导界面处的光反射。在p型InP衬底(2)上设置半导体激光器部(I)、光调制器部(II)及作为将该二部隔离的隔离部(III)。在该结构中，将延续到台面条带(12)的两外侧的面的高度，在半导体激光器部I设置得比在光调制器部(II)高。而且，在隔离部(III)，上述延续面的高度从半导体激光器部(I)侧向光调制器部(II)侧逐渐降低。从而，能够减少半导体激光器部(I)与光调制器部(II)的界面处的光反射，并抑制激光器的单波长性的恶化。

主权项

1.一种光波导，其特征在于，包括：半导体激光器部，具有在衬底上依次层积的下部包覆层、第1芯层及上部包覆层，并形成所述上部包覆层延续到其两外侧的台面条带，在所述第1芯层产生激光；中间部，在所述衬底上邻接所述半导体激光器部而设，具有在所述衬底上依次层积的所述下部包覆层、第2芯层及所述上部包覆层，所述第2芯层与所述第1芯层相接，并形成所述下部包覆层、所述第2芯层及所述上部包覆层延续到其两外侧的台面条带；以及光调制器部，在所述衬底上邻接所述中间部而设，具有在所述衬底上依次层积的所述下部包覆层、所述第2芯层及所述上部包覆层，所述第2芯层吸收所述第1芯层产生的所述激光，并形成所述下部包覆层延续到其两外侧的台面条带，所述半导体激光器部的延续到所述台面条带的两外侧的面离所述衬底的上表面的高度，大于所述光调制器部的延续到所述台面条带的两外侧的面离所述衬底上表面的高度；所述中间部的延续到所述台面条带的两外侧的面离所述衬底上的表面的高度，从所述半导体激光器部侧向所述光调制器部侧降低。