[发明专利]采用弱碱性离子交换树脂稳定含氮和含氧的有机硅烷有效
| 申请号： | 200710142253.2 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101134761A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | H·R·博文;雷新建;L·A·塞尼卡尔 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C07F7/20;C09K15/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲;范赤 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了稳定含氮有机硅烷或者含氧有机硅烷以防酸催化侵蚀并阻止最终分解的方法。所述有机硅烷，特别是具有至少一个Si－H或者N－H基团的含氮有机硅烷，容易出现这种制品分解。用弱碱性离子交换介质处理通过捕获侵蚀Si－H基团的阴离子或者酸阻碍了这种分解。稀释性地暴露到这些阴离子可以引发明显的分解，实现对于半导体加工而言采用氧化硅、氧氮化硅和氮化硅膜的制品稳定性和长期储存寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 弱碱 离子交换 树脂 稳定 有机 硅烷 | ||
【主权项】：
1.用于实现选自下述组的有机硅烷的稳定的方法：具有至少一个N-H或者Si-H或者两者并且没有卤素原子侧基的含氮有机硅烷和具有至少一个Si-H的含氧有机硅烷，所述方法包括如下步骤：(a)在用于去除所述有机硅烷中存在的残余阴离子或者金属阳离子但不实现所述有机硅烷明显水解的条件下，使所述有机硅烷和弱碱性离子交换树脂接触；和(b)将所述有机硅烷和所述弱碱性离子交换树脂分开，(c)蒸馏所述有机硅烷。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于气体产品与化学公司，未经气体产品与化学公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710142253.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
