[发明专利]一种封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用

摘要

本发明涉及封装三甲基铟等金属有机化合物的容器，包括瓶体、进气管和出气管，瓶体内设有隔板，将内腔分成左腔和右腔，左腔与右腔的容积比为6∶4～8∶2；进气管插入左腔的底部，出气管插入右腔的底部；左腔的底部设有网状片，进气管底部接近网状片；加料口设置在瓶体的上部，其中心位置与隔板相对。该封装容器用于MOCVD时，腔体盛装固体源，容器的有效体积可得到充分利用，载气在容器内部经过的路程延长到原来的两倍以上，气体与固体源的接触几率大为增加；气体出口管中金属有机化合物的气相分压非常稳定，可以很好地满足气相沉积工序的工艺要求，且固体源的利用率在90％以上，能较好地满足单瓶使用的要求。

主权项

1.一种封装固体高纯金属有机化合物的容器，包括瓶体[1]、进气管[5]、和出气管[9]，瓶体[1]上设有加料口[7]，其特征在于：所述瓶体[1]内设有隔板[2]，将内腔分成左腔和右腔；所述进气管[5]插入左腔的底部；所述出气管[9]插入右腔的底部；加料口[7]设置在瓶体[1]的上部，并位于进气管[5]和出气管[9]之间。