[发明专利]具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器

摘要

本发明涉及一种抗电磁干扰的绝对式位移传感器领域，即具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器。解决了现有光位移传感器的连杆连接的反射镜在导轨上移动时有一定的角度误差的问题。本发明的改进在于：反射镜为两块，分别设于L型滑块的内侧两边，两反射镜的夹角α范围为50～70°。本发明采用两块反射镜，只要从准直光学系统7出射的光线方向与光栅的夹角不变，不论在滑块8移动过程中有多大的角度跳动，即当滑块在导轨上移动过程中绕Z轴有角度变动时，能保持入射角θ恒定。这个结构改进提高了传感器整体精度，降低了对导轨加工精度的要求。

主权项

1.具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器，包括传感器外壳、准直光学系统，准直光学系统一侧对应着滑块上的反射镜，滑块为L型，一外侧边与导轨配合，另一外侧边连接着连接轴，反射镜的下方对应着变栅距光栅；准直光学系统另一侧对应着Y型光纤，Y型光纤另一端分别连接着宽带光源、数字式光谱仪、数据采集处理控制系统，其特征在于：所述反射镜为两块，分别设于L型滑块的内侧两边，两反射镜的夹角α范围为50～70°；反射镜与变栅距光栅之间的入射角θ范围为10～50°。