[发明专利]具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器

权利要求书

1.具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器，包括传感器外壳、准直光学系统，准直光学系统一侧对应着滑块上的反射镜，滑块为L型，一外侧边与导轨配合，另一外侧边连接着连接轴，反射镜的下方对应着变栅距光栅；准直光学系统另一侧对应着Y型光纤，Y型光纤另一端分别连接着宽带光源、数字式光谱仪、数据采集处理控制系统，其特征在于：

所述反射镜为两块，分别设于L型滑块的内侧两边，两反射镜的夹角α范围为50～70°；

反射镜与变栅距光栅之间的入射角θ范围为10～50°。

2.根据权利要求1所述的具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器，其特征在于：所述两反射镜的夹角α为56.8°，反射镜与变栅距光栅之间的入射角θ为23.6°。