[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法无效
| 申请号： | 200710129075.X | 申请日： | 2007-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101105631A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 南一守;池田贵美;高岛正伸 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/032;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，通过组合规定的聚合性化合物进而在一定范围内调节感光层的感度，提供感度和析像度高、且遮盖膜强度强、密合性出色、防止未曝光膜破裂的效果出色的图案形成材料、以及图案形成装置、以及图案形成方法。本发明的图案形成材料，具有支撑体并且在该支撑体上至少具有感光层而成，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物、和光聚合引发剂，所述聚合性化合物含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a－1)、和分子具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a－2)而成，使所述感光层的曝光的部分的厚度在该曝光和显影后不发生变化的所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～50mJ/cm2。本发明使用了该图案形成材料的图案形成方法也具有所述特征。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于：具有支撑体并且在该支撑体上至少具有感光层而成，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物和光聚合引发剂，所述聚合性化合物含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)、和分子内具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)而成，使所述感光层的曝光的部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的在所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～50mJ/cm2。
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