[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成材料，其特征在于：

具有支撑体并且在该支撑体上至少具有感光层而成，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物和光聚合引发剂，

所述聚合性化合物含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)、和分子内具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)而成，

使所述感光层的曝光的部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的在所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～50mJ/cm²。

2.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

光聚合引发剂的含量相对于所述感光层的固体成分总量为5～20质量％。

3.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)用下述结构式(1)表示，

[化1]

(结构式1)

在结构式(1)中，R₁₁和R₁₂可以彼此相同，也可以不同，表示氢原子、和甲基的任意一种，A表示亚乙基(-C₂H₄-)，B表示亚丙基(-CH₂CH(CH₃)-)，n₁₁和n₁₂分别表示1～29的任意整数，n₁₃和n₁₄分别表示0～29的任意整数，n₁₁+n₁₂的值表示2～30的任意整数，n₁₃+n₁₄的值表示0～30的任意整数；不过，用(A-O)和(B-O)表示的重复序列可以是无规序列，还可以是嵌段序列；在所述用(A-O)和(B-O)表示的重复序列是嵌段序列的情况下，双酚基一侧的重复序列可以是所述用(A-O)和(B-O)表示的重复序列的任意一种。

4.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

结构式(1)中的n₁₃+n₁₄的值为2～30的任意整数。

5.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)的分子量为1000～2000。

6.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

聚合性化合物含有3种以上的聚合性化合物。

7.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

还含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)以及分子内具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)以外的聚合性化合物，该聚合性化合物含有反应性基团为3个以下且具有亚丙氧基以及亚乙氧基中的至少任意一种的聚合性化合物(a-3)。

8.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)以及分子内具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)以外的聚合性化合物，具有尿烷基。

9.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)的含量相对于聚合性化合物总固体成分量为10～95质量％。

10.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

分子内具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)的含量相对于聚合性化合物总固体成分量为2～50质量％。

11.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

粘合剂的质均分子量为50000～150000。

12.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

粘合剂的I/O值为0.350～0.650。

13.如权利要求1所述的图案形成材料，其中，

感光层还含有杂稠环系化合物。

14.一种图案形成装置，其特征在于：

具备权利要求1所述的图案形成材料的感光层；

至少具有可以照射光的光照射机构、和对来自该光照射机构的光进行调制并对所述感光层进行曝光的光调制机构。