[发明专利]用于UV固化系统的富氮冷却空气模块无效

专利信息
申请号: 200710128066.9 申请日: 2007-06-26
公开(公告)号: CN101109073A 公开(公告)日: 2008-01-23
发明(设计)人: 达斯廷·W·胡;胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯;戴尔·R·杜·博伊斯;斯科特·A·亨德里克森;萨尼夫·巴鲁贾;恩德卡·O·米科蒂 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: C23C16/36 分类号: C23C16/36;C23C16/30
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 徐金国;梁挥
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种再循环冷却系统可以与固化系统一起使用,以减小系统的排气需求。另外,使用冷却液诸如氮降低臭氧的产生以及系统的密封需求。一种简单的热交换器可以在返回和供应容器之间使用,以去除在循环经过固化辐射源期间添加到再循环流体的热。氮可来自氮源,或者来自膜或可用以分裂供应气体为其分子组分的其它器件以提供富氮气源。一种臭氧破坏单元可以与该冷却系统一起使用以减少臭氧量至可接收级别,并最小化氮气的消耗。催化剂可用以耗尽在反应期间没有消耗的臭氧。
搜索关键词: 用于 uv 固化 系统 冷却 空气 模块
【主权项】:
1.一种对包括UV灯源和固化腔室的UV固化系统提供冷却的系统,包括:供应容器,可用以包含大量的流体;流动产生器件,可用以导引来自供应容器的流体流动经过所述UV灯源,所述流体流动可用以从所述UV灯源去除热能;返回管路,连接到所述固化腔室并可用以容纳所述流体的热流并导引所述热流体的流动;返回容器,连接到所述返回管路并可用以容纳通过所述返回管路导引的所述流体的热流;以及热交换器,沿着流动路径设置在所述返回容器和所述供应容器之间并且可用以从所述流体的热流去除所述热能,其中导引所述流体流返回到所述供应容器中。
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