[发明专利]用于UV固化系统的富氮冷却空气模块无效
| 申请号: | 200710128066.9 | 申请日: | 2007-06-26 |
| 公开(公告)号: | CN101109073A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
| 发明(设计)人: | 达斯廷·W·胡;胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯;戴尔·R·杜·博伊斯;斯科特·A·亨德里克森;萨尼夫·巴鲁贾;恩德卡·O·米科蒂 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/36 | 分类号: | C23C16/36;C23C16/30 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 uv 固化 系统 冷却 空气 模块 | ||
1.一种对包括UV灯源和固化腔室的UV固化系统提供冷却的系统,包 括:
供应容器,可用以包含大量的流体;
流动产生器件,可用以导引来自供应容器的流体流动经过所述UV灯源, 所述流体流动可用以从所述UV灯源去除热能;
返回管路,连接到所述固化腔室并可用以容纳所述流体的热流并导引所述 热流体的流动;
返回容器,连接到所述返回管路并可用以容纳通过所述返回管路导引的所 述流体的热流;以及
热交换器,沿着流动路径设置在所述返回容器和所述供应容器之间并且可 用以从所述流体的热流去除所述热能,其中导引所述流体流返回到所述供应容 器中。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:
所述流体是氮气和富氮气体的其中之一。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,进一步包括:
气体分离模块,可用以容纳送入空气的流动并分离出所述送入空气的至少 一种组分以产生所述供应容器的流体源。
4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于:
所述气体分离模块包括气体分离膜。
5.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:
所述热交换器是水冷却热交换器。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:
多个流动产生器件可用以导引来自所述供应容器的流体流动经过多个UV 灯源。
7.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:
所述流动产生器件是循环鼓风机。
8.一种用于提供冷却流体的再循环流动至辐射型固化器件的空气模块, 包括:
供应容器,可用以容纳并包含大量的流体;
流动产生器件,可用以导引来自所述供应容器的流体流动到辐射型固化器 件,所述流体的流动可用以从所述固化器件去除热能;
返回容器,可用以容纳退出所述辐射型固化器件的流体的热流;以及
热交换器,沿着流动路径设置在所述返回容器和所述供应容器之间,所述 热交换器可用以从所述流体热流去除所述热能,并导引所述流体流返回到所述 供应容器中。
9.根据权利要求8所述的空气模块,其特征在于:
所述流体是氮气和富氮气体的其中之一。
10.根据权利要求8所述的空气模块,其特征在于,进一步包括:
气体分离模块,可用以容纳送入空气的流动并分离出所述送入空气的至少 一种组分以产生所述供应容器的流体源。
11.根据权利要求10所述的空气模块,其特征在于:
所述气体分离模块包括气体分离膜。
12.根据权利要求8所述的空气模块,其特征在于:
所述供应容器可用以容纳来自纯氮气源的大量流体。
13.根据权利要求8所述的空气模块,其特征在于:
所述热交换器是水冷却热交换器。
14.根据权利要求8所述的空气模块,其特征在于:
多个流动产生器件可用以导引来自所述供应容器的流体流动到所述固化 器件的多个部分。
15.根据权利要求8所述的空气模块,其特征在于:
所述流动产生器件是循环鼓风机。
16.一种冷却包括UV灯源和固化腔室的UV固化系统的方法,包括:
导引来自供应容器的冷却流体流动经过所述UV灯源,所述流体的流动可 用以从所述UV灯源去除热能;
导引来自所述固化腔室的所述冷却流体的热流至返回容器;
从所述冷却流体的热流去除热能;以及
导引所述冷却流体的热去除的流动返回至所述供应容器中,其中所述冷却 流体可用以再循环经过所述UV灯源。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





