[发明专利]用于糊状物分配器的分配头单元无效
| 申请号： | 200710127545.9 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101067700A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 金熙根 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G02F1/1333;B05C5/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于糊状物分配器的分配头单元，该分配头单元包括：分配头部，其上设置有喷嘴；Z轴移动单元，用于使分配头部沿Z轴方向上下移动，以调整喷嘴与基板之间的距离；第一传感器，用于感测喷嘴的垂直位置；第二传感器，设置在Z轴移动单元的固定部上，用于感测该第二传感器与基板之间的距离；以及Z轴控制单元，根据由第一传感器和第二传感器感测的距离来控制Z轴移动单元，其中Z轴控制单元包括：第一调整单元，用于将糊状物分配到基板上之前，将喷嘴与基板之间的距离调整到预定值；以及第二调整单元，用于将糊状物分配到基板上时，将喷嘴与基板之间的距离调整到预定值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 糊状 分配器 分配 单元 | ||
【主权项】：
1.一种用于糊状物分配器的分配头单元，所述分配头单元包括：分配头部，其上设置有喷嘴；Z轴移动单元，用于使所述分配头部沿Z轴方向上下移动，以调整所述喷嘴与基板之间的距离；第一传感器，用于感测所述喷嘴的垂直位置；第二传感器，设置在所述Z轴移动单元的固定部上，用于感测所述第二传感器与所述基板之间的距离；以及Z轴控制单元，根据由所述第一传感器和所述第二传感器感测的距离来控制所述Z轴移动单元，所述Z轴控制单元包括：第一调整单元，用于将糊状物分配到所述基板上之前，将所述喷嘴与所述基板之间的距离调整到预定值；以及第二调整单元，用于在将所述糊状物分配到所述基板上时，将所述喷嘴与所述基板之间的距离调整到所述预定值。
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