[发明专利]用于糊状物分配器的分配头单元无效
| 申请号: | 200710127545.9 | 申请日: | 2007-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN101067700A | 公开(公告)日: | 2007-11-07 |
| 发明(设计)人: | 金熙根 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1339 | 分类号: | G02F1/1339;G02F1/1333;B05C5/00 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲;吴贵明 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 糊状 分配器 分配 单元 | ||
1.一种用于糊状物分配器的分配头单元,所述分配头单元包括:
分配头部,其上设置有喷嘴;
Z轴移动单元,用于使所述分配头部沿Z轴方向上下移动,以调整所述喷嘴与基板之间的距离;
第一传感器,用于感测所述喷嘴的垂直位置;
第二传感器,所述第二传感器固定于所述Z轴移动单元的固定部上,并且所述第二传感器不沿Z轴方向上下移动,用于感测所述第二传感器与所述基板之间的距离;以及
Z轴控制单元,根据由所述第一传感器感测到的喷嘴的垂直位置和所述第二传感器感测到的第二传感器与基板之间的距离来控制所述Z轴移动单元,所述Z轴控制单元包括:
第一调整单元,用于将糊状物分配到所述基板上之前,将所述喷嘴与所述基板之间的距离调整到预定值;以及
第二调整单元,用于在将所述糊状物分配到所述基板上时,将所述喷嘴与所述基板之间的距离调整到所述预定值。
2.根据权利要求1所述的用于糊状物分配器的分配头单元,其中,所述喷嘴接触所述基板然后与所述基板分离时,根据所述第一传感器感测的距离,检测所述喷嘴与所述基板接触时的接触点之后,所述第一调整单元通过使所述喷嘴从所述接触点向上移动预定距离而调整所述喷嘴与所述基板之间的所述距离。
3.根据权利要求2所述的用于糊状物分配器的分配头单元,其中,所述第一调整单元重复进行使所述喷嘴接触和离开所述基板的步骤,以检测精确的接触点。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于糊状物分配器的分配头单元,其中,所述第二调整单元使所述喷嘴上下移动两距离之间的差值,而调整所述喷嘴与所述基板之间的距离,其中所述两距离之间的差值通过比较开始分配时所述第二传感器感测的距离与分配期间所述第二传感器感测的距离而获得。
5.根据权利要求4所述的用于糊状物分配器的分配头单元,其中,以这样的方式设定所述第二传感器,即使得所述第二传感器必须感测的距离的中间点与所述第二传感器覆盖范围的中间点对准。
6.根据权利要求1所述的用于糊状物分配器的分配头单元,其中,所述第一传感器为设置在所述Z轴移动单元上的线性编码器。
7.根据权利要求1所述的用于糊状物分配器的分配头单元,其中,在所述分配头部上设置有糊状物容器,所述糊状物容器用于容纳待通过所述喷嘴分配的糊状物。
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