[发明专利]基板检查装置有效
| 申请号： | 200710123550.2 | 申请日： | 2007-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101165546A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 冈本英树;棚瀬顺一郎;黑田晋一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，为一种在真空状态下对基板施加检查信号而进行基板检查的基板检查装置，其特征在于包括：主室，在真空状态下进行基板的检查；负载固定室，在与大气侧之间及与前述主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器，存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；其中前述探测器框储料器配置在前述负载固定室的上部。
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