[发明专利]基板检查装置有效
| 申请号： | 200710123550.2 | 申请日： | 2007-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101165546A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 冈本英树;棚瀬顺一郎;黑田晋一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
1.一种基板检查装置，为一种在真空状态下对基板施加检查信号而进行基板检查的基板检查装置，其特征在于包括：
主室，在真空状态下进行基板的检查；
负载固定室，在与大气侧之间及与前述主室之间进行基板的搬入搬出；
探测器框储料器，存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；
其中前述探测器框储料器配置在前述负载固定室的上部。
2.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于其中，
前述负载固定室具有开关自如的顶板；
前述顶板在上部设置有前述探测器框储料器，在下部设置有运送前述探测器框的运送机构；
该基板检查装置还具备使前述顶板和前述探测器框储料器自如升降的升降机构；
该基板检查装置是利用前述升降机构的升降动作和前述运送机构的运送动作，在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换。
3.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于其中，
在前述主室的上部具有临时保持探测器框的临时置放部；
前述运送机构是通过前述临时置放部而进行与探测器框储料器之间的探测器框的更换。
4.如权利要求3所述的基板检查装置，其特征在于其中，
前述升降机构利用升降动作而进行前述探测器框储料器和前述临时置放部的位置对合。
5.一种基板检查装置，为一种在真空状态下对基板施加检查信号并进行基板检查的基板检查装置，其特征在于包括：
主室，在真空状态下进行基板的检查；
负载固定室，在与大气侧之间及与前述主室之间进行基板的搬入搬出；
探测器框储料器，存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；
其中前述探测器框储料器配置在前述主室的上部。
6.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于其中，
前述负载固定室具有开关自如的顶板；
前述顶板在下部安装有运送前述探测器框的运送机构；
该基板检查装置还具有使前述顶板自如升降的升降机构；
该基板检查装置是利用前述升降机构的升降动作和前述运送机构的运送动作，在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换。
7.如权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于其中，前述升降机构利用升降动作而进行前述探测器框储料器和前述运送机构的位置对合。
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