[发明专利]清洗辊子有效
| 申请号: | 200710111183.4 | 申请日: | 2007-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN101091604A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
| 发明(设计)人: | 岛井太;河田茂 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号: | A46B11/00 | 分类号: | A46B11/00;A46B13/06;A46B9/02 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;徐谦 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种不会使已被污染的清洗液滞留在基板上,使清洗效果进一步地得到改善的清洗辊子。本发明的清洗辊子具有辊子主体(10),并且在辊子主体的外周面上植设有刷毛(15)。辊子主体具有构成清洗液流路的内部空间,该内部空间借助连接器(12b)与清洗液供给导管(14)连接。在辊子主体(10)上,沿辊子主体的轴线螺旋状形成与上述内部空间连通并喷射清洗液的多个喷射孔(16)。 | ||
| 搜索关键词: | 清洗 辊子 | ||
【主权项】:
1.一种清洗辊子,具有:具有构成清洗液流路的内部空间的空心圆筒状的辊子主体;在辊子主体的外周面上设置的刷毛;和将上述辊子主体可自由旋转地连结于清洗液供给导管的连结构件,其特征在于:上述辊子主体的内部空间与上述清洗液供给导管连通,在上述辊子主体上,沿辊子主体的轴线螺旋状地形成与上述内部空间连通并喷射清洗液的多个喷射孔。
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