[发明专利]清洗辊子

说明书

技术领域

本发明涉及一种在清洗玻璃基板或半导体基板等各种基板的表面的清洗工序中使用的清洗辊子。

背景技术

在对液晶用玻璃基板或半导体基板进行了成像处理等的各种处理之后，使用纯水等的清洗液进行清洗处理。在该清洗工序中，使用植设有多根刷毛的清洗刷子，边喷射清洗液边利用刷毛的清扫作用来进行清洗(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2001-204052号公报

在上述专利文献所述的清洗刷子中，由于将喷射清洗液的流体出口排列成圆周状，所以从清洗刷子射出的清洗液滞留在基板表面上，发生应被清洗的成像剂等的物质污染了的清洗液残存在基板表面上的不良情况。另外，从清洗刷子喷射出的清洗液被线状地供给到基板上，所以还会发生对移动的基板清洗不均的不良情况。

发明内容

本发明的目的在于提供一种不会使已被污染的清洗液滞留在基板上，使清洗效果进一步得以改善的清洗辊子。

本发明的清洗辊子，具有：具有构成清洗液的流路的内部空间的空心圆筒状的辊子主体；在辊子主体的外周面上设置的刷毛；和将上述辊子主体可自由旋转地连结于清洗液供给导管的连结构件，其特征在于，上述辊子主体的内部空间与上述清洗液供给导管连接，在上述辊子主体上，沿辊子主体的轴线螺旋状地形成与上述内部空间连通并喷射清洗液的多个喷射孔。

在本发明的清洗辊子中，由于喷射清洗液的喷射孔是沿辊子轴线形成为螺旋状，所以从清洗辊子中喷射出的清洗液以将残存在基板上的已被污染的清洗液向斜侧方而不是后方顶出的方式进行作用。其结果是，可以将残存在基板上的已被污染的清洗液迅速地从基板表面除去，并可消除已被污染的清洗液滞留在基板上的不良情况。

另外，由于不是对基板线状地喷射清洗液，而是向基板整面均匀地喷射清洗液，所以还可消除产生清洗不均的不良情况。

本发明的清洗辊子的优选实施例的特征在于，将上述刷毛在相邻的喷射孔之间，以与形成喷射孔的螺旋间距相同的间距植设成螺旋状。通过均以相同的螺旋间距形成刷毛以及喷射孔，使向基板的侧方顶出已被污染的清洗液的作用更有效。

本发明的清洗辊子中，由于将清扫残存在基板上的残液的刷毛以及喷射清洗液的喷射孔均以螺旋状形成，所以可以消除已被污染的清洗液滞留在基板上的不良情况。而且，因向基板整面均匀地喷射清洗液，所以可以防止清洗不均的发生。

附图说明

图1是表示使用本发明的清洗辊子的清洗工序的一个例子的线型图。

图2是表示本发明的清洗辊子的一个例子的线型的俯视图。

图3是以包括图2中所表示的辊子轴线的面切开表示的线型的剖视图。

符号说明：1...玻璃基板；2...搬运辊子；3a～3d...清洗辊子；10...辊子主体；11a、11b...轴承；12a、12b...连接器；13...马达；14...导管；15...刷毛；16...喷射孔。

具体实施方式

图1是表示使用本发明的清洗辊子而将各种处理后的玻璃基板清洗的清洗工序的一例的线型图。将应清洗的玻璃基板1利用搬运辊子2以一定的搬运速度向箭头方向搬运。以夹持搬运中的玻璃基板1的方式，将上下一对清洗辊子配置两列。将各清洗辊子3a、3b、3c、3d在上下方向可移动地安装，并控制各清洗辊子的刷毛相对玻璃基板的压入量。另外，将各清洗刷子的清洗方向设定为顺时针方向，即与玻璃基板的搬运方向相反的方向。使清洗辊子3a、3b、3c、3d的刷毛与基板1的表面相接，并且利用其清扫力清洗玻璃基板的同时，从清洗辊子向玻璃基板喷射清洗液清洗玻璃基板的表面。所以，在搬运中，玻璃基板1被利用刷毛的机械清扫力清洗，同时还被喷射出的清洗液的清洗力清洗。

图2以及图3是表示本发明的清洗辊子的一个例子的图，图2是线型的外观图以及图3是以包括辊子轴线的面切开表示的线型的剖视图。

本发明的清洗辊子具有空心的辊子主体10，并且辊子主体10的两端被轴承11a、11b可自由旋转地支承。将连结有轴承11a的一侧借助连接器12a与马达13连结。另外，将辊子主体的另一侧借助连接器12b可自由旋转地连结清洗液供给导管14。此外，辊子主体10的一端侧由密封构件12密封。将清洗液供给导管14与清洗液罐(未图示)连接，并向辊子主体10的内部空间内供给清洗液。

在辊子主体10的外周面上，沿轴线方向螺旋状且列状地植设有例如尼龙制的刷毛15。通过将刷毛列植设于固定件上，并将该止动机构螺旋状地安装在轴的外周面上，可以将该刷毛列排列成列状。