[发明专利]双阶段虚拟测量方法

摘要

本发明公开了一种双阶段虚拟测量方法，借以产生双阶段虚拟测量值来兼顾立即性与准确性。其中，第一阶段推估步骤是在某一工件的工艺参数数据一收集完成便立即计算此工件的第一阶段虚拟测量值(VM_I)，以满足立即性的需求；第二阶段推估步骤是在取得被抽测的工件的实际测量值后(用以重新训练或调校)，才重新计算此被抽测的工件所属的卡匣内的所有工件的第二阶段虚拟测量值(VM_II)，以满足准确性的需求。此外，此方法也产生第一阶段虚拟测量值和第二阶段虚拟测量值的信心指标和整体相似度指标。

主权项

1.一种双阶段的虚拟测量方法，其特征在于，至少包括：获取一生产机台的多组历史工艺参数数据；从一测量机台取得多个历史测量值，其中该些历史测量值分别为根据该多组历史工艺参数所生产的工件的测量值；使用该些组历史工艺参数数据和该些历史测量值来建立一第一推估模式，该第一推估模式的建立是根据一推估算法；等待收集该生产机台所送出的多个工件的工艺参数数据；当该生产机台所送出的该些工件的一者的工艺参数数据收集完成后，立即进行一第一阶段推估步骤，该第一阶段推估步骤至少包括：输入该生产机台所送出的该些工件的该者的工艺参数数据至该第一推估模式，而计算出该些工件的该者的一第一阶段虚拟测量值；以及当从该测量机台取得该些工件的一被抽测的工件的实际测量值时，进行一第二阶段推估步骤，其中该第二阶段推估步骤至少包括：将该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值加入该些组历史工艺参数数据及该些历史测量值，来重新训练该第一推估模式而成为一第二推估模式；或以该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值来调校该第一推估模式而成为该第二推估模式；输入该被抽测的工件所属的一卡匣内的所有工件的工艺参数数据至该第二推估模式，而重新计算出该卡匣内的每一个工件的一第二阶段虚拟测量值；以及以该第二推估模式取代该第一推估模式，来计算出后续进入该生产机台的工件的第一阶段虚拟测量值。