[发明专利]双阶段虚拟测量方法

权利要求书

1.一种利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，其特征在于，该虚拟测量方法至少包括：

该双阶段虚拟测量系统获取一生产机台的多组历史工艺参数数据，其中多个历史工件是根据该多组历史工艺参数数据所生产；

该双阶段虚拟测量系统从一测量机台取得多个历史测量值，其中该些历史测量值分别为该多个历史工件的测量值；

透过该双阶段虚拟测量系统使用该些组历史工艺参数数据和该些历史测量值来建立一第一推估模式，该第一推估模式的建立是根据一推估算法，该推估算法是选自由一复回归算法和一类神经网络算法所组成的一族群；

该双阶段虚拟测量系统等待收集该生产机台所送出的多个工件的工艺参数数据；

当该生产机台所送出的该些工件的一者的工艺参数数据收集完成后，透过该双阶段虚拟测量系统立即进行一第一阶段推估步骤，该第一阶段推估步骤至少包括：

输入该生产机台所送出的该些工件的该者的工艺参数数据至该第一推估模式，而计算出该些工件的该者的一第一阶段虚拟测量值；

该双阶段虚拟测量系统从该测量机台取得一被抽测的工件的一实际测量值；

该双阶段虚拟测量系统取得该被抽测的工件的工艺参数数据；

该双阶段虚拟测量系统取得该被抽测的工件所属的一卡匣内的所有工件的工艺参数数据；以及

当从该测量机台取得该些工件的该被抽测的工件的该实际测量值时，透过该双阶段虚拟测量系统进行一第二阶段推估步骤，其中该第二阶段推估步骤至少包括：

将该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值加入该些组历史工艺参数数据及该些历史测量值，来重新建立该第一推估模式而成为一第二推估模式；或以该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值来调校该第一推估模式的参数值而成为该第二推估模式；

输入该被抽测的工件所属的该卡匣内的所有工件的工艺参数数据至该第二推估模式，而重新计算出该卡匣内的每一个工件的一第二阶段虚拟测量值；以及

以该第二推估模式取代该第一推估模式，来计算出后续进入该生产机台的工件的第一阶段虚拟测量值。

2.根据权利要求1所述的利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，其特征在于，该双阶段虚拟测量系统还包括一信心指标模块，该虚拟测量方法还至少包括：

该双阶段虚拟测量系统使用该些组历史工艺参数数据和该些历史测量数据来建立一第一参考模式，该第一参考模式的建立是根据一参考算法，该推估算法与该参考算法不同；以及

该第一阶段推估步骤还至少包括：

透过该双阶段虚拟测量系统输入该生产机台所送出的该些工件的该者的工艺参数数据至该第一参考模式，而计算出该些工件的该者的一第一参考预测值；以及

透过该信心指标模块分别计算该些工件的该者的该第一阶段虚拟测量值的分配与该第一参考预测值的分配之间的重迭面积而产生该些工件的该者的该第一阶段虚拟测量值的信心指标值，当重迭面积愈大，则信心指标值愈高，代表所对应至该第一阶段虚拟测量值的可信度愈高。

3.根据权利要求2所述的利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，其特征在于，该参考算法是选自由一复回归算法和一类神经网络算法所组成的一族群。

4.根据权利要求2所述的利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，其特征在于，该第二阶段推估步骤还至少包括：

透过该双阶段虚拟测量系统将该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值加入该些组历史工艺参数数据及该些历史测量值，来重新建立该第一参考模式而成为一第二参考模式；或以该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值来调校该第一参考模式的参数值而成为该第二参考模式；以及

透过该双阶段虚拟测量系统输入该被抽测的工件所属的该卡匣内的所有工件的工艺参数数据至该第二参考模式，而重新计算出该卡匣内的每一个工件的一第二参考预测值；

透过该信心指标模块分别计算该卡匣内的每一个工件的该第二阶段虚拟测量值的分配与该第二参考预测值的分配之间的重迭面积而产生该卡匣内的每一个工件的该第二阶段虚拟测量值的信心指标值，当重迭面积愈大，则信心指标值愈高，代表所对应至该第二虚拟测量值的可信度愈高。

5.根据权利要求4所述的利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，其特征在于，还至少包括：

透过该双阶段虚拟测量系统以该第二参考模式取代该第一参考模式，来计算出后续进入该生产机台的工件的第一阶段虚拟测量值的信心指标值。