[发明专利]等离子体产生装置无效
| 申请号： | 200710108183.9 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101316474A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 林瑞堉;寇崇善;王腾纬;潘彦儒;张子青;俞志杰 | 申请（专利权）人： | 台达电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子体产生装置，以产生强度均匀的等离子体。该等离子体产生装置包含至少一天线组，该天线组包含至少一第一天线与至少一第二天线，该第一天线与该第二天线分别是用以提供一第一电磁波与一第二电磁波，其中在该第一天线与该第二天线的一重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波可以相互耦合而通过该天线组使该等离子体产生装置产生强度均匀的该等离子体。通过本发明，该等离子体产生装置可以具有制造成本极低而应用性极高的优点，并具有很高的产业价值。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生装置，该等离子体产生装置包含至少一天线组以产生一等离子体，该天线组包含：至少一第一天线，其用以提供一第一电磁波；以及至少一第二天线，其用以提供一第二电磁波，其中在该第一天线与该第二天线的重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波相互耦合以产生该等离子体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台达电子工业股份有限公司，未经台达电子工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710108183.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
