[发明专利]等离子体产生装置

权利要求书

1.一种等离子体产生装置，该等离子体产生装置包含至少一天线组以产生一等离子体，该天线组包含：

至少一第一天线，其用以提供一第一电磁波；以及

至少一第二天线，其用以提供一第二电磁波，其中在该第一天线与该第二天线的重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波相互耦合以产生该等离子体。

2.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于：

该等离子体相应于该重叠区域具有均匀的强度；和/或

该第一天线与该第二天线具有相同的长度且彼此平行而相隔一距离。

3.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于：

该第一天线与该第二天线的输入端都具有一电磁波产生器，其中该电磁波产生器与该天线之间还具有一电磁波耦合器；和/或

该第一天线与该第二天线至少其中之一是由一独立棒状导管所组成。

4.一种等离子体产生装置，该等离子体产生装置具有一天线以提供一电磁波而产生强度均匀的等离子体，其中该天线是设置于具有至少一开口的电磁波控制罩内。

5.根据权利要求4所述的等离子体产生装置，其特征在于，该天线是由一独立棒状导管所组成，且该开口可用以调整该电磁波沿该独立棒状导管的长度方向的强度。

6.根据权利要求4所述的等离子体产生装置，其特征在于，该电磁波控制罩具有一遮蔽板以遮蔽该开口，且该遮蔽板相对于该电磁波控制罩的位置可以被调整，以使该开口被遮蔽的面积可以被控制，其中该遮蔽板相对于该电磁波控制罩的位置可以通过外部控制装置而被调整。

7.一种等离子体产生装置，该等离子体产生装置包含至少一天线组以产生一等离子体，该天线组包含：

至少一第一天线，其用以提供一第一电磁波；

至少一第二天线，其用以提供一第二电磁波；以及

一绝缘材料，其用以形成一隔绝范围而容置该第一天线与第二天线；

其中在该第一天线与该第二天线的重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波相互耦合并通过该绝缘材料而产生该等离子体。

8.根据权利要求7所述的等离子体产生装置，其特征在于：

该第一天线的指向是相反于该第二天线的指向；和/或

相邻于另一天线组的该第一天线与该第二天线分别是相邻于该另一天线组中的第二天线与第一天线。

9.一种等离子体产生装置，该等离子体产生装置用以于一处理腔室中通过至少一天线组产生一等离子体而形成一镀膜于一基板上，该天线组包含：

至少一第一天线，其用以提供一第一电磁波；

至少一第二天线，其用以提供一第二电磁波；以及一绝缘材料，用以形成一隔绝范围而容置该第一天线与第二天线；

其中在该第一天线与该第二天线的重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波相互耦合并通过该绝缘材料而产生该等离子体以形成该镀膜于该基板上。

10.根据权利要求9所述的等离子体产生装置，其特征在于：

该绝缘材料所构成的隔绝范围穿越该处理腔室，且该隔绝范围的两尾端被该处理腔室的腔壁密合，以使该隔绝范围可以被完全密封；和/或

该第一天线与该第二天线至少其中之一是由设置于一电磁波控制罩的独立棒状导管所构成，且该电磁波控制罩具有至少一开口，而所述电磁波则可具有微波的频段。

11.根据权利要求9所述的等离子体产生装置，其特征在于：

该第一天线与该第二天线的输入端都具有独立的一电磁波产生器，其中该电磁波产生器与该天线之间还具有一电磁波耦合器；

所述电磁波产生器的频率参数、功率参数与开关状态都可为可被调整，以分别调整该第一电磁波与该第二电磁波的强度；及

该等离子体产生装置还包含至少一光电感测装置，以根据该镀膜的变化而随时控制所述电磁波产生器。

12.根据权利要求9所述的等离子体产生装置，其特征在于：

该隔绝范围的断面可为圆形与多边形其中之一；和/或

该隔绝范围内具有冷却流体，以控制该隔绝范围内的温度。