[发明专利]自动管理探针记号偏移的系统和方法无效
| 申请号： | 200710106561.X | 申请日： | 2007-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101261285A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 林玮仓;林俊宏;陈聪贤 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/06 | 分类号： | G01R1/06;G01R31/28 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了自动管理探针记号偏移的系统和方法。由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷。于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移。对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。在该探针记号确认中，从该测试数据中选取多个探针记号位置。并确定该多个探针记号位置中是否有至少一个违反一工程规则。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 管理 探针 记号 偏移 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是该方法包括：由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷；当该晶粒确定为有缺陷时，于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移；以及对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。
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