[发明专利]自动管理探针记号偏移的系统和方法

权利要求书

1. 一种用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是该方法包括：

由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷；

当该晶粒确定为有缺陷时，于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移；以及

对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。

2. 根据权利要求1所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是于该晶片上执行一探针记号确认的步骤包含：

从该测试数据中选取多个探针记号位置；以及

确定该多个探针记号位置中是否有至少一个违反一工程规则。

3. 根据权利要求2所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是选取多个探针记号位置的步骤包含：

从该晶片上选取多个晶粒；以及

从该多个晶粒中选取多个探针记号位置。

4. 根据权利要求2所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是该多个探针记号位置的每一个还包含：

一Z台，其中该Z台将该晶片置于Z方向以使其和该探针接触；以及

该探针记号的一区域。

5. 根据权利要求2所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是选取多个探针记号位置的步骤包含：

从该晶片上选取多个晶粒，其中该多个晶粒是位于该晶片上x或y方向上相对的位置；及

从该多个晶粒中选取多个探针记号位置。

6. 根据权利要求2所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是选取多个探针记号位置的步骤包含：

从该晶片的一晶粒的多个不同垫中，选取多个探针记号位置。

7. 根据权利要求2所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是选取多个探针记号位置的步骤包含：

从该晶片的不同晶粒的同一垫上选取多个探针记号位置。

8. 根据权利要求2所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是选取多个探针记号位置的步骤包含：

从不同晶片的同一晶粒的同一垫上选取多个探针记号位置。

9. 根据权利要求1所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是还包含：

当该探针记号偏移时，通知一工程师。

10. 根据权利要求1所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是执行必须的恢复动作的步骤包含：

使用该多个探针记号位置执行一实时补偿最佳化。

11. 根据权利要求10所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是使用该多个探针记号位置执行一实时补偿最佳化的步骤包含：

从一目标的多个探针记号位置产生一目标补偿图；以及

从该多个探针记号位置产生一实际补偿图。

12. 根据权利要求11所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是使用该多个探针记号位置执行一实时补偿最佳化的步骤还包含：

从该目标补偿图中确定一目标补偿角度；

从该实际补偿图确定一实际补偿角度；以及

确定该目标补偿角度及该实际补偿角度之间的一差异，以形成一补偿角度。

13. 根据权利要求12所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是使用该多个探针记号位置执行一补偿最佳化还包含：

若该目标补偿角度及该实际补偿角度之间的该差异大于零，则自动将固定该晶片的晶片台沿一逆时针方向调整该补偿角度。

14. 根据权利要求12所述的用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是使用该多个探针记号位置执行一补偿最佳化还包含：

若该目标补偿角度及该实际补偿角度之间的该差异小于零，则自动将固定该晶片的晶片台沿一顺时针方向调整该补偿角度。