[发明专利]就产生颗粒的杂质对反应性气体例如硅烷进行分析无效
| 申请号： | 200710101167.7 | 申请日： | 2007-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101071097A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | P·J·马罗利斯;S·N·克特卡;W·T·麦克德莫特 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲;韦欣华 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了改进的供给处理装置气体的方法，所述气体包含至少一种能起反应和/或成核形成悬浮于气体中的污染性颗粒的杂质。该改进包括用粒子计数器和/或颗粒俘获过滤器采样处理装置上游的气流，以检测该气流中污染性颗粒的量，和当颗粒的量超过预定量时产生信号。实施该方法的装置包括：供应源；至少一种处理工具；放置在处理工具上游和供应源下游的颗粒计数器；与至少所述颗粒计数器电连接的微处理器；和任选地，与颗粒计数器并联的粒子俘获过滤器。所述方法和装置可用于制备集成电路。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 颗粒 杂质 反应 性气 体例 硅烷 进行 分析 | ||
【主权项】：
1.一种制备方法，包括向处理装置提供含有至少一种杂质的气体，所述杂质起反应和/或形核以形成悬浮在所述气体中的污染性颗粒，改进之处在于，其中颗粒计数器和/或颗粒俘获过滤器对位于所述处理装置上游的气流进行采样，以检测在所述气流中悬浮的所述污染性颗粒的量，并且当所述污染性颗粒的量超过预定量时产生信号。
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