[发明专利]具有隐藏铰链的钢琴型微电子机械镜有效
| 申请号： | 200710090828.0 | 申请日： | 2007-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN101051114A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 约翰·迈克尔·米勒;巴里·科沃斯 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据本发明的微电子机械镜装置，包括可绕两个互相垂直的轴枢转的平台，和设置在平台下面的铰链结构。铰链结构包括第一铰链和第二铰链以及在平台层下面单层制造的平衡环。铰链结构的一端从平台下表面延伸，而另一端从底座延伸，该底座从基片向上延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隐藏 铰链 钢琴 微电子 机械 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械MEMs装置，包括：平台，其在基片上方可绕相互垂直的第一轴和第二轴枢转；底座，在所述平台下面从所述基片向上延伸；第一铰链，从所述底座延伸，能使所述平台倾斜于所述第一轴；平衡架，至少部分沿所述第一铰链延伸，用于接收所述第一铰链的外端；以及第二铰链，从所述平衡架延伸到所述平台下面，能使所述平台绕所述第二轴滚动；其中将所述第一和第二铰链完全设置在所述平台下面，以使相邻MEMs装置紧密组合在一起。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于JDS尤尼弗思公司，未经JDS尤尼弗思公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710090828.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
