[发明专利]以光学方式检查和显现从圆片状物体获得的光学测量值的方法无效
| 申请号： | 200710088843.1 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101051028A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 麦克森·岱特雷夫 | 申请（专利权）人： | 比斯泰克半导体系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 德国韦茨拉尔D－35*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明揭示一种显现来自圆片状物体的记录的图像的测量值的方法。首先，记录至少一个圆片状物体的图像，且产生大量测量值。将每一测量值与色值相关联。最后，产生所得图像，其中将已在圆片状衬底上导致测量值的区域与从预定的调色板中选出的色值相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 方式 检查 显现 片状 物体 获得 测量 方法 | ||
【主权项】：
1、一种以光学方式检查和显现来自圆片状物体的至少一个图像的光学测量值的方法，其包括以下步骤：记录所述至少一个圆片状物体的所述至少一个图像，其中根据所述至少一个记录的图像来产生多个光学测量值；将每一光学测量值与色值相关联；以及产生所得图像，其中将从预定之调色板中选出的色值与所述圆片状物体的表面的光学测量值在预定区间内的区域相关联。
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