[发明专利]以光学方式检查和显现从圆片状物体获得的光学测量值的方法

权利要求书

1、一种以光学方式检查和显现来自圆片状物体的至少一个图像的光学测量值的方法，其包括以下步骤：

记录所述至少一个圆片状物体的所述至少一个图像，其中根据所述至少一个记录的图像来产生多个光学测量值；

将每一光学测量值与色值相关联；以及

产生所得图像，其中将从预定之调色板中选出的色值与所述圆片状物体的表面的光学测量值在预定区间内的区域相关联。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：将所述圆片状物体放置在台上，其中所述台在第一方向X和第二方向Y上横移；提供成像构件，其中所述成像构件的视场小于所述圆片状物体的整个表面；以及为了将所述圆片状物体的所述整个表面成像，通过所述成像构件以迂曲的方式来扫描所述圆片状物体。

3、根据权利要求2所述的方法，其中所述所得图像与所述圆片状物体的所述记录的图像具有相同形式。

4、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述调色板具有至少三种不同颜色，所述所得图像以所述至少三种不同颜色来显示。

5、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述调色板表现每一测量值与色值之间的关联规则，借助所述关联规则以不同于所述圆片状物体的所述记录的图像的其它颜色来显示所述圆片状物体的所述表面的图像。

6、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：确定阈值。

7、根据权利要求6所述的方法，其特征在于：在所述圆片状物体的所述记录的图像的所述测量值与所述阈值之间形成差值。

8、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述调色板从绿色渐变成白色再渐变成红色。

9、根据权利要求8所述的方法，其特征在于：所述调色板从绿色到白色再到红色的所述渐变是用于显现信噪比，其中在所述测量值远离所述阈值之处出现绿色区域，且红色区域指示所述测量值超出所述阈值的区域。

10、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述圆片状物体的所述记录的图像和所述所得图像显示在用于以光学方式检查圆片状物体的系统的显示器上，其中为了评估所述圆片状物体上的缺陷，可在所述圆片状物体的所述记录的图像与所述所得图像之间进行切换。

11、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述圆片状物体是平板显示器。

12、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述圆片状物体是晶片。