[发明专利]涂布装置

摘要

一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。

主权项

一种涂布装置，将涂布液涂布在基板上，其特征在于，具有：载物台，在其上表面上装载所述基板；喷嘴，在所述载物台上的空间，从其前端部喷出所述涂布液；局部环境生成机构，其对涂布空间局部性地供给规定气体，在规定的环境下进行所述涂布液的涂布，该涂布空间包括所述喷嘴喷出涂布液的空间以及所述涂布液所涂布的基板的涂布部位；喷嘴移动机构，其在上述载物台上的空间，在横贯所述载物台面的方向使所述喷嘴往复移动；所述局部环境生成机构具有：第一箱体，其包围所述载物台而设置，隔开所述喷嘴移动机构所配置的空间和该载物台所配置的空间，所述第一箱体在其上表面上形成有所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧突出而进行往复移动的开口部；第一供给口，其设置于所述第一箱体，对该第一箱体的内部空间供给所述规定气体；第二箱体，其包围所述喷嘴移动机构而设置在所述第一箱体的上部；第一排气口，其设置在所述第一箱体，将该第一箱体的内部空间内的气体排出到外部；第二排气口，其设置在所述第二箱体，将该第二箱体的内部空间内的气体排出到外部；将从所述第一供给口提供的气体从所述第一以及第二排气口排出，直到所述第一箱体内的规定空间达到规定氧气浓度为止，在所述规定空间达到了规定氧气浓度时，将从所述第一供给口提供的气体从所述第二排气口排出。