[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，将涂布液涂布在基板上，其特征在于，具有：

载物台，在其上表面上装载所述基板；

喷嘴，在所述载物台上的空间，从其前端部喷出所述涂布液；

局部环境生成机构，其对涂布空间局部性地供给规定气体，在规定的环境下进行所述涂布液的涂布，该涂布空间包括所述喷嘴喷出涂布液的空间以及所述涂布液所涂布的基板的涂布部位；

喷嘴移动机构，其在上述载物台上的空间，在横贯所述载物台面的方向使所述喷嘴往复移动；

所述局部环境生成机构具有：

第一箱体，其包围所述载物台而设置，隔开所述喷嘴移动机构所配置的空间和该载物台所配置的空间，所述第一箱体在其上表面上形成有所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧突出而进行往复移动的开口部；

第一供给口，其设置于所述第一箱体，对该第一箱体的内部空间供给所述规定气体；

第二箱体，其包围所述喷嘴移动机构而设置在所述第一箱体的上部；

第一排气口，其设置在所述第一箱体，将该第一箱体的内部空间内的气体排出到外部；

第二排气口，其设置在所述第二箱体，将该第二箱体的内部空间内的气体排出到外部；

将从所述第一供给口提供的气体从所述第一以及第二排气口排出，直到所述第一箱体内的规定空间达到规定氧气浓度为止，

在所述规定空间达到了规定氧气浓度时，将从所述第一供给口提供的气体从所述第二排气口排出。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第一箱体包围着所述载物台装载所述基板并进行移动的空间而设置。

3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述第一箱体的上表面配置在所述载物台和所述喷嘴移动机构之间，

在所述第一箱体的上表面，形成有所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧向该第一箱体内突出而进行往复移动的所述开口部。

4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述第一供给口设置在所述第一箱体的一端的侧面，

所述第一排气口被设置在所述第一箱体中与设置有所述第一供给口的一端的侧面相对的另一端的侧面上。

5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第一排气口设置在所述第一箱体的底部附近。

6.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第二箱体包围着所述第一箱体的上部空间而设置，所述第一箱体的上部空间包含有所述喷嘴移动机构。

7.如权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，在所述第二箱体形成有所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧向所述第一箱体内突出而进行往复移动的开口部。

8.如权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述局部环境生成机构还具有第三箱体，该第三箱体设置在所述第二箱体内，并包围着所述喷嘴移动机构而设置。

9.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，在所述第三箱体形成有所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧向所述第一箱体内突出而进行往复移动的开口部和将该第三箱体内的空间与该第三箱体外侧的所述第二箱体内的空间连通的开口部。

10.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述局部环境生成机构还具有设置在所述第三箱体并将规定气体供给到该第三箱体的内部空间的其他的供给口。

11.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述局部环境生成机构还具有设置在所述第三箱体并将该第三箱体的内部空间内的气体排出到外部的排气口。

12.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述局部环境生成机构还具有：氧气浓度检测部件，其检测所述第一箱体内的规定空间中的氧气浓度；第一阀门，其设置在所述第一排气口；

所述涂布装置还具有控制部件，该控制部件在所述氧气浓度检测部件检测到的氧气浓度未达到所述规定氧气浓度时开启所述第一阀门，在所述氧气浓度检测部件检测到的氧气浓度达到所述规定氧气浓度时关闭所述第一阀门。

13.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还具有如下的控制部件：其在所述规定空间达到规定氧气浓度时，使由所述喷嘴移动机构控制的所述喷嘴的往复移动开始，对所述基板进行涂布处理。