[发明专利]具有反射式相位光栅的标尺有效
| 申请号： | 200710079749.X | 申请日： | 2007-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN101086453A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 格奥尔格·弗拉特舍尔 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有反射式相位光栅的标尺，该相位光栅具有作为反射层堆叠(3)的交替的高折射层(6，7)和低折射层(5a，5b)，该层堆叠设置在基底(2)上。高折射层(6，7)由硅构成，低折射层(5a，5b)由二氧化硅构成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 反射 相位 光栅 标尺 | ||
【主权项】：
1.一种用于干涉式位置测量系统的标尺，所述标尺具有反射式相位光栅，所述相位光栅具有在反射层堆叠(3)中交替的高折射层(6，7)和低折射层(5a，5b)，其中所述反射层堆叠设置于基底(2)上，其特征在于，所述高折射层(6，7)由硅构成，所述低折射层(5a，5b)由二氧化硅构成。
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