[发明专利]微机电压力传感器无效
| 申请号： | 200710076041.9 | 申请日： | 2007-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN101344447A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 乔东海;姚湲;姜开利;刘亮 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市海淀区清华*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机电压力传感器，其包括一个基底、一个介质隔离层、至少两个电极及一个振动膜。该基底具有一个声腔。该介质隔离层形成在该基底上，该介质隔离层具有与该声腔相通的通孔。该至少两个电极分别形成在介质隔离层上。该振动膜覆盖介质隔离层的通孔。其中，该振动膜包括至少一个碳纳米管结构，该碳纳米管结构的两端分别与该两个电极电连接。所述的微机电压力传感器，通过振动膜内嵌碳纳米管，以增加振动膜的顺度，从而可提高微机电压力传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微机电压力传感器，其包括：一个基底，该基底具有一个声腔；形成在该基底上的一个介质隔离层，该介质隔离层具有与该声腔相通的通孔；及分别形成在介质隔离层上的至少两个电极及一个振动膜，该振动膜覆盖介质隔离层的通孔，其特征在于，该振动膜包括至少一个碳纳米管结构，该碳纳米管结构的两端分别与该两个电极电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司，未经清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710076041.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：使用资源利用掩码管理干扰的方法
- 下一篇：点焊枪的加压性能劣化判定方法
