[发明专利]微机电压力传感器

权利要求书

1.一种微机电压力传感器，其包括：

一个基底，该基底具有一个声腔；

形成在该基底上的一个介质隔离层，该介质隔离层具有与该声腔相通的通孔；及

分别形成在介质隔离层上的至少两个电极及一个振动膜，该振动膜覆盖介质隔离层的通孔，其特征在于，该振动膜包括至少一个碳纳米管结构，该碳纳米管结构的两端分别与该两个电极电连接。

2.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的振动膜包括至少两个碳纳米管结构，该至少两个碳纳米管结构在振动膜内位于同一平面，该至少两个碳纳米管结构的一端连接于同一个电极，另一端同时连接于另一个电极。

3.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的振动膜包括至少两个碳纳米管结构，所述介质隔离层上形成至少三个电极，该碳纳米管结构在振动膜内位于同一平面，相邻的碳纳米管结构的一端连接于同一电极，另一端连接于不同电极。

4.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的振动膜包括至少两个碳纳米管结构，所述介质隔离层上形成至少四个电极，该至少两个碳纳米管结构在振动膜内分别位于不同的平面，位于不同平面的各个碳纳米管结构是彼此绝缘的，同一平面内，各个碳纳米管结构的两端分别与两个电极形成电连接。

5.如权利要求4所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的位于不同平面内的各个碳纳米管结构相交成锐角或直角。

6.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的基底为n型硅片、p型硅片或本征硅片。

7.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的介质隔离层的材料为二氧化硅或氮化硅。

8.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的振动膜开设多个小孔。

9.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的微机电压力传感器进一步包括一个位于振动膜与基底间的背板，该背板具有多个声学孔，该多个声学孔分别与声腔及通孔相通。

10.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的振动膜包括有机膜，该碳纳米管结构位于该有机膜内。

11.如权利要求10所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的有机膜材料为二氯代环二聚体或聚酰氨。

12.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的微机电压力传感器包括金属膜，该金属膜位于振动膜与介质隔离层之间。

13.如权利要求9所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的微机电压力传感器进一步包括一个电极与介质隔离层上的一个蚀刻孔，该蚀刻孔以暴露部分背板，该暴露的部分背板与该电极电连接。

14.如权利要求1所述的微机电压力传感器，其特征在于，所述的碳纳米管结构为碳纳米管、碳纳米管阵列或碳纳米管薄膜中的一种。