[发明专利]一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器有效
| 申请号： | 200710062982.7 | 申请日： | 2007-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101229910A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 焦斌斌;李超波;陈大鹏;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01J5/02;G01J5/38 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外成像技术领域，公开了一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，该探测器由微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成，所述微悬臂梁单元包括热变形结构、红外吸收结构和支撑梁；所述热变形结构有两组，分别位于红外吸收结构的两侧，每组热变形结构一端连接于支撑梁，另一端连接于红外吸收结构；所述红外吸收结构包括光学检测板和红外透过板，且二者通过锚爪固定连接；所述热变形结构连接于红外吸收结构的光学检测板，与红外吸收结构的光学检测板分布于同一平面上。利用本发明，解决了图形区硅衬底对红外线反射的问题，提高了探测灵敏度和对入射红外线的吸收率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 红外 成像 平面 阵列 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，该探测器由微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成，所述微悬臂梁单元包括热变形结构、红外吸收结构和支撑梁；所述热变形结构有两组，分别位于红外吸收结构的两侧，每组热变形结构一端连接于支撑梁，另一端连接于红外吸收结构；所述红外吸收结构包括光学检测板和红外透过板，且二者通过锚爪固定连接；所述热变形结构连接于红外吸收结构的光学检测板，与红外吸收结构的光学检测板分布于同一平面上。
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