[发明专利]一种激光驱动的可变形反射镜无效
| 申请号： | 200710051951.1 | 申请日： | 2007-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101063748A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 向东;王青玲;郑安寿;汤型正;韩艳玲;罗中杰 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（武汉） |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：它由感光底层(5)、支撑柱(6)、镜面组成；感光底层(5)由光敏材料砷化镓半导体晶片构成，光敏材料砷化镓半导体晶片的下表面为ZnO层；镜面由聚酯薄膜(7)、铝膜(8)构成，聚酯薄膜(7)的上表面镀有一层铝膜(8)；感光底层(5)的上表面沉淀有栅格状的支撑柱(6)，支撑柱(6)的上端面与镜面的聚酯薄膜下表面相胶粘；镜面的铝膜(8)、感光底层(5)的ZnO层分别由导线与电压源(9)相连。本发明具有形变量大的特点(其最大形变量可以达到0.85μm)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 驱动 变形 反射 | ||
【主权项】：
1.一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：它由感光底层(5)、支撑柱(6)、镜面组成；感光底层(5)由光敏材料砷化镓半导体晶片构成，光敏材料砷化镓半导体晶片的下表面为ZnO层；镜面由聚脂薄膜(7)、铝膜(8)构成，聚脂薄膜(7)的上表面镀有一层铝膜(8)；感光底层(5)的上表面沉淀有栅格状的支撑柱(6)，支撑柱(6)的上端面与镜面的聚脂薄膜下表面相胶粘；镜面的铝膜(8)、感光底层(5)的ZnO层分别由导线与电压源(9)相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国地质大学（武汉），未经中国地质大学（武汉）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710051951.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
