[发明专利]一种激光驱动的可变形反射镜无效
| 申请号： | 200710051951.1 | 申请日： | 2007-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101063748A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 向东;王青玲;郑安寿;汤型正;韩艳玲;罗中杰 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（武汉） |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 驱动 变形 反射 | ||
【权利要求书】：
1.一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：它由感光底层(5)、支撑柱(6)、镜面组成；感光底层(5)由光敏材料砷化镓半导体晶片构成，光敏材料砷化镓半导体晶片的下表面为ZnO层；镜面由聚脂薄膜(7)、铝膜(8)构成，聚脂薄膜(7)的上表面镀有一层铝膜(8)；感光底层(5)的上表面沉淀有栅格状的支撑柱(6)，支撑柱(6)的上端面与镜面的聚脂薄膜下表面相胶粘；镜面的铝膜(8)、感光底层(5)的ZnO层分别由导线与电压源(9)相连。
2.根据权利要求1所述的一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：所述的感光底层(5)的直径为5.08cm，厚度为0.5mm。
3.根据权利要求1所述的一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：所述的聚脂薄膜(7)的厚度为2μm。
4.根据权利要求1所述的一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：所述的铝膜(8)的厚度为0.4μm。
5.根据权利要求1所述的一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：所述的栅格状的支撑柱(6)的高度为5μm。
6.根据权利要求1所述的一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：所述的栅格状的支撑柱(6)为聚酰亚胺材料。
7.根据权利要求1所述的一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：所述的镜面含有16个形变单元。
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