[发明专利]作为磷扩散源的微晶玻璃及其制备方法

摘要

本发明涉及一种作为磷扩散源的微晶玻璃及其制备方法，该微晶玻璃组分重量百分比为P₂O₅ 50～80％，SiO₂ 8～20％，Al₂O₃ 10～30％，ZrO₂ 0～8％，MgO 0～10％，La₂O₃ 0～15％的组分；其制备方法包括：(1)按配方称取P₂O₅、SiO₂、Al₂O₃、ZrO₂、MgO、La₂O₃，混合后干燥；(2)于石英玻璃坩埚内保温，熔化后搅拌；(3)整体移出玻璃，于退火炉中进行退火，保温后，随炉冷却；(4)在晶化炉中微晶化处理，保温，得结晶的微晶玻璃。本发明的微晶玻璃具有内部结晶均匀、结晶相为磷酸锆、扩散均匀稳定、寿命长等优点，适用于需要高磷含量、高纯度的半导体掺杂，主要用于单晶硅的掺杂。

主权项

1.一种作为磷扩散源的微晶玻璃，其特征在于：包含P2O5、SiO2、Al2O3、ZrO2、MgO、La2O3组分。