[发明专利]作为磷扩散源的微晶玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种作为磷扩散源的微晶玻璃，其特征在于：包含P₂O₅、SiO₂、Al₂O₃、ZrO₂、MgO、La₂O₃组分。

2.根据权利要求1所述的作为磷扩散源的微晶玻璃，其特征在于：组分的重量比为P₂O₅50～80％，SiO₂ 8～20％，Al₂O₃ 10～30％，ZrO₂ 0～8％，MgO 0～10％，La₂O₃ 0～15％。

3.一种作为磷扩散源的微晶玻璃的制备方法，包括下列步骤：

(1)按配方称取P₂O₅、SiO₂、Al₂O₃、ZrO₂、MgO、La₂O₃，混合后干燥；

(2)于石英玻璃坩埚内保温，熔化后搅拌；

(3)整体移出玻璃，于退火炉中进行退火，保温后，随炉冷却；

(4)在晶化炉中微晶化处理，保温，得结晶均匀的微晶玻璃。

4.根据权利要求3所述的作为磷扩散源的微晶玻璃的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的保温是指1550～1650℃，保温2～3小时。

5.根据权利要求3所述的作为磷扩散源的微晶玻璃的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的搅拌是指搅拌半小时。

6.根据权利要求3所述的作为磷扩散源的微晶玻璃的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中的保温是指560℃保温5小时。

7.根据权利要求3所述的作为磷扩散源的微晶玻璃的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中的冷却是指0.5℃/min速度降温至室温。

8.根据权利要求3所述的作为磷扩散源的微晶玻璃的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中的保温是指850～950℃保温1～3小时。